Pam vakum miniatur ialah pam yang menggunakan gas sebagai medium kerja utama. Sesuai untuk-pengoperasian melahu dan kering jangka panjang, ia menghasilkan vakum (tekanan negatif) dengan memacu diafragma untuk melakukan sedutan dan nyahcas gas melalui-gerakan salingan yang dipacu motor. Peranti ini mempunyai kedua-dua muncung sedutan dan ekzos. Model khusus termasuk model sedutan/pengembangan dwi-dan air/gas untuk menyesuaikan diri dengan keadaan operasi yang berbeza.
Komponen teras termasuk pam diafragma dan pengawal vakum. Produk biasa ialah Busch RA0020F (kelajuan mengepam 20 m³/j, tekanan muktamad 0.1 mbar). Pembangunan teknologi memfokuskan pada pengecilan, kecekapan tenaga dan kepintaran, menggabungkan teknologi leviti magnetik,-teknologi pelinciran bebas minyak dan reka bentuk mesra alam. Aplikasi utama termasuk peralatan perubatan (peranti sedutan, ventilator), pemantauan alam sekitar, pembuatan semikonduktor dan industri tenaga baharu. Saiz pasaran domestik diunjurkan mencecah 5 bilion yuan pada 2024.